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扩散硅压力变送器

扩散硅压力变送器具有工作可靠、性能稳定、安装使用方便、体积小、重量轻、性能价格比高等点，能在各种正负压力测量中得到广泛应用。扩散硅压力变送器采用进口扩散硅或陶瓷芯体作为压力检测元件，传感器信号经电子放大器转换成0-10mA或4-20mA统一输出信号。压力变送器可替代传统的远传压力表，霍尔元件、差动变送器，并具有DDZ-Ⅱ及DDZ-Ⅲ型变送器性能。

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扩散硅压力变送器是压力变送器中比较小巧、重量轻、价格低的一款产品，具有安装方便、性能稳定、工作可靠等特点，在正负压力测量的环境中得到广泛的使用，感温元件采用进口扩散硅或陶瓷芯体元件器，传感器内采用电子放大器组成，将测量的信号转换成0-10MA或4-20MA的输出信号。

扩散硅传感器的工作原理

扩散硅传感器选型作为一种较高的性能的一次压力测量产品，可以很方便地进行放大处理，装配成标准信号输出的设备，广泛应用于石油、化工、冶金、电力、航空、汽车、HVAC等行业的过程控制。

被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上（不锈钢或陶瓷），使膜片产生与TBP-1扩散硅无腔压力传感器介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。

扩散硅压力传感器的基本原理

压力传感器的制造中一般利用集成电路平面工艺，用杂志扩散或离子注入的方法形成电阻器。扩散层被用来作为应力或应变敏感的电阻器，电流边与扩散层被用来作为应力或应变敏感的电阻器，电流便与扩散层表面平行流过电阻器。在压力传感器的设计。制造时，需要了解不同温度下硅扩散层的压阻特性，选择合适的扩散条件，选用一定型号、晶向的扩散电阻以获得较高的灵敏度和晓得灵敏度系数，力求使压力传感器有良好的性能。

扩散层的平均压阻系数：扩散层中杂质往往呈误差函数（恒定表面源条件下）或余误差函数（恒定表面浓度条件）分布。也就是说，表面杂质浓度高，电流便呈现不均匀分布。虽然应力在电阻的纵剖面是均匀分布的，而压阻系数取决于杂质浓度。以此在扩散层上电阻的改变的百分量是不同的。这又使扩散层中电流在纵向中心分布并造成压阻值和应力之间的非线性。

扩散层硅的电阻温度特性与压力传感器的热零点漂移以及热灵敏度有密切的关系。